[发明专利]一种铝基覆铜板的制备方法

摘要

本发明涉及一种铝基覆铜板的制备方法，其方法包括以下步骤：将铝板进行除油和清洗；其中一面进行微弧氧化，在其表面形成的一层微弧氧化膜作为绝缘导热层；再将其放入真空室中，在其微弧氧化膜上按顺序进行“双面等离子体束清洗活化—双面类金刚石膜沉积—单面离子注入金属离子—单面等离子体沉积金属—单面等离子体沉积铜”的处理，使其成为导体；最后在电镀槽中进行电镀铜，使电镀铜层的厚度达到预定要求。本发明有益效果在于，铝基覆铜板的导热性好、热阻低、绝缘层薄、耐击穿电压高，同时电镀的铜箔与绝缘层结合力好。

主权项

1.一种铝基覆铜板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：步骤1、将铝板装好夹具，除油清洗后将它的一面进行微弧氧化，使在其一个表面形成的一层微弧氧化膜作为绝缘导热层；步骤2、清洗烘干后，将其放入真空室中，在其微弧氧化膜上按顺序进行等离子体束清洗活化、类金刚石膜沉积、离子注入金属离子、等离子体沉积金属、等离子体沉积金属铜工序的处理；步骤3、将经过上述处理的铝板装入夹具，在电镀槽中进行电镀铜并钝化处理，使电镀后的铜层厚度达到预定的厚度并有一定的耐蚀能力，制成铝基覆铜板。