[发明专利]一种击穿测试结构、显示面板和击穿测试方法有效
申请号: | 201810995027.7 | 申请日: | 2018-08-29 |
公开(公告)号: | CN109116198B | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 刘振定;左博文;安亚斌;蔺聪 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/12 | 分类号: | G01R31/12 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 莎日娜 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种击穿测试结构、显示面板和击穿测试方法。所述结构包括:基底;有源层,所述有源层设置在所述基底上;栅绝缘层,所述栅绝缘层设置在所述有源层上,所述栅绝缘层与所述有源层边沿对应的区域为爬坡区,位于所述爬坡区内部的区域为平面区;栅极层,所述栅极层设置在所述栅绝缘层上,包括相接的第一栅部和第二栅部,所述第一栅部覆盖所述平面区,所述第二栅部覆盖所述爬坡区,所述第一栅部和/或第二栅部为镂空图案以露出所述栅绝缘层。通过本发明实施例,在测试栅绝缘层的击穿电压时,可以根据击穿位置确定平面区和爬坡区哪一个被击穿,以及哪一个先被击穿,并且可以根据击穿现象准确得知栅绝缘层的膜层状况。 | ||
搜索关键词: | 一种 击穿 测试 结构 显示 面板 方法 | ||
【主权项】:
1.一种击穿测试结构,其特征在于,所述结构包括:基底;有源层,所述有源层设置在所述基底上;栅绝缘层,所述栅绝缘层设置在所述有源层上,所述栅绝缘层与所述有源层边沿对应的区域为爬坡区,位于所述爬坡区内部的区域为平面区;栅极层,所述栅极层设置在所述栅绝缘层上,包括相接的第一栅部和第二栅部,所述第一栅部覆盖所述平面区,所述第二栅部覆盖所述爬坡区,所述第一栅部和/或所述第二栅部为镂空图案以露出所述栅绝缘层。
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