[发明专利]一种高分辨率矩阵屏的制作工艺在审
申请号: | 201810995430.X | 申请日: | 2018-08-29 |
公开(公告)号: | CN109148364A | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 宋爱民;杜军 | 申请(专利权)人: | 深圳华信嘉源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77 |
代理公司: | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人: | 褚庆森 |
地址: | 518048 广东省深圳市福田区福*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明的高分辨率矩阵屏的制作工艺,包括:1).选取衬底;2).涂覆显示材料;3).激光切割。亦可采用:a).选取衬底;b).涂光刻胶;c).曝光处理;d).显影处理;e).制备显示层;f).去除多余显示材料区,以形成柔性矩阵屏。本发明的制作工艺,可采用激光切割工艺对涂覆在柔性衬底上的柔性显示材料层进行切割,亦可采用光刻工艺在柔性衬底上制备尺寸满足要求的有效显示材料区(即像素点),然后在利用激光切割、干法刻蚀或研磨方法将多余显示材料区去除,以形成高分辨率柔性矩阵屏,解决了现有工艺无法制备高分辨率柔性显示屏的技术问题,有益效果显著,适于应用推广。 | ||
搜索关键词: | 高分辨率 衬底 显示材料 制作工艺 制备 激光切割 柔性矩阵 矩阵屏 涂覆 去除 激光切割工艺 柔性显示材料 柔性显示屏 干法刻蚀 光刻工艺 曝光处理 显影处理 有效显示 研磨 材料区 光刻胶 显示层 像素点 切割 应用 | ||
【主权项】:
1.一种高分辨率矩阵屏的制作工艺,其特征在于,通过以下步骤来实现:1).选取衬底,选取合适的柔性衬底(1),然后将柔性衬底的表面清洗干净并吹干;2).涂覆显示材料,在柔性衬底的表面涂覆显示材料,以形成柔性的显示材料层(2);3).激光切割,采用激光切割工艺将显示材料层切割为按照矩阵排列的像素点(3),以形成高分辨率柔性矩阵屏。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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