[发明专利]一种多弧离子真空镀膜机

摘要

本发明公开了一种多弧离子真空镀膜机，包括外壳，所述外壳的外侧面下端安装有控制开关，所述控制开关的输入端与外部电源的输出端电连接，所述外壳的内侧面下端固定有环座，所述环座内侧设有环形的靶座，所述靶座内设有靶材，所述靶座的下端面设有限位环，所述限位环的外环面下端固定有齿环，本多弧离子真空镀膜机，控制简单，加工及使用方便，在真空环境下利用引弧产生弧光放电，激发等离子体的快速逸出，靶材蒸发的等离子体沉积在基材的表面，从而实现工件的镀膜，阳极板与靶材之间具有较大的距离，方便框架和基材的安装，使得等离子体穿过框架的安装腔，更加均匀的附着在基材的表面。

主权项

1.一种多弧离子真空镀膜机，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的外侧面下端安装有控制开关(2)，所述控制开关(2)的输入端与外部电源的输出端电连接，所述外壳(1)的内侧面下端固定有环座(3)，所述环座(3)内侧设有环形的靶座(4)，所述靶座(4)内设有靶材(5)，所述靶座(4)的下端面设有限位环(401)，所述限位环(401)的外环面下端固定有齿环(402)，所述环座(3)下表面安装有竖直方向的伺服电机(6)，所述伺服电机(6)的输出轴上固定有与齿环(402)啮合的齿轮(601)，所述靶材(5)的下表面固定有蒸发装置(7)，所述蒸发装置(7)通过底座(8)与外壳(1)的内腔底面固定相连，所述蒸发装置(7)上表面设有阴极座(9)，所述外壳(1)的侧面下端安装有进气管(10)，所述进气管(10)的中部安装有第一阀门(11)，所述外壳(1)内侧面的中部安装有环形的磁场线圈(12)，所述外壳(1)的内侧面左端固定有侧杆(13)，所述侧杆(13)的内侧端固定有托轴(14)，所述托轴(14)的上侧安装有基材架(15)，所述外壳(1)的上端面安装有阳极板(16)，所述阳极板(16)与控制开关(2)的正极线路相连，所述阳极板(16)的下表面设有引弧杆(17)，所述外壳(1)左侧面与基材架(15)对应的位置设有仓门(19)，所述仓门(19)通过仓板(20)封闭，所述外壳(1)侧面上端设有负压管(21)和压力表(24)，所述负压管(21)的中部安装有真空泵(22)和第二阀门(23)，所述控制开关(2)的输出端分别与伺服电机(6)、磁场线圈(12)和真空泵(22)的输入端电连接。