[发明专利]非制冷红外偏振探测器像元结构及制备方法有效
| 申请号： | 201810996239.7 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN109253803B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 张连东;李煜;赵永强;潘泉 | 申请（专利权）人： | 北方广微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J4/00 | 分类号： | G01J4/00 |
| 代理公司： | 北京展翅星辰知识产权代理有限公司 11693 | 代理人： | 王文生 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种非制冷红外偏振探测器像元结构及制备方法，其中非制冷红外偏振探测器像元结构包括：底层，所述底层包括读出电路基座以及设在所述读出电路基座上的第一金属电极层、金属反射层和第一介质保护层；中间层，所述中间层包括第一支撑层、热敏层、第二介质保护层、第二金属电极层和第三介质保护层；上层，所述上层包括设在所述第三介质保护层之上的第二支撑层以及设在所述第二支撑层上的光栅层，所述光栅层包括若干个依次排列的光栅。本申请提供的非制冷红外偏振探测器像元结构及制备方法，且体积大幅度减小，降低了光栅层引入的热噪声，提高了偏振探测灵敏度，有利于增大光栅层的消光比。 | ||
| 搜索关键词： | 制冷 红外 偏振 探测器 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种非制冷红外偏振探测器像元结构，其中，包括：底层，所述底层包括读出电路基座以及设在所述读出电路基座上的第一金属电极层、金属反射层和第一介质保护层；其中，所述第一介质保护层覆盖所述第一金属电极层和金属反射层，在所述第一介质保护层上设有电极通孔，以露出所述第一金属电极层；所述读出电路基座中的读出电路与所述第一金属电极层电连接；中间层，所述中间层包括第一支撑层、热敏层、第二介质保护层、第二金属电极层和第三介质保护层；在所述第一介质保护层之上设有所述第一支撑层，所述第一支撑层上设有第一通孔，所述第一通孔终止于所述第一金属电极层，所述第一支撑层上设有所述热敏层，所述热敏层上设有所述第二介质保护层，所述第二介质保护层上设有第二通孔，所述第二通孔终止于所述热敏层，所述第二介质保护层上设有所述第二金属电极层，所述第二金属电极层包括设在所述第一通孔内的金属电极和设在所述第二通孔内的金属连线，所述第二金属电极层上设有所述第三介质保护层；所述热敏层通过所述第二金属电极层与所述第一金属电极层电连接；上层，所述上层包括设在所述第三介质保护层之上的第二支撑层以及设在所述第二支撑层上的光栅层，所述光栅层包括若干个依次排列的光栅。
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