[发明专利]一种高温高压氦气泄漏定量检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种氦气泄漏定量检测装置，包括如下部件：密封腔(M)；密封腔(M)内有电加热棒(8)、热电偶(7)、氦气充入管路(23)和待检密封设备(5)；所述氦气充入管路(23)与密封腔(M)外的氦气源(1)连接、内与所述待检密封设备(5)连接；所述真空泵(18)及氦质谱检漏仪(22)通过真空管(20)与所述密封腔(M)连通。本发明还公开了使用所述检测装置氦气泄漏定量检测的方法。本发明可以在高温、高压下对待检密封设备的氦气泄漏率进行精确定量检测。

主权项

1.一种氦气泄漏定量检测方法，其特征在于，使用氦气泄漏定量检测装置进行检测，所述氦气泄漏定量检测装置包括以下部件：密封腔(M)；其内有电加热棒(8)、热电偶(7)、氦气充入管路(23)和待检密封设备(5)；氦气源(1)，其通过所述氦气充入管路(23)与所述待检密封设备(5)连通连接；真空泵(18)，通过真空管(20)与所述密封腔(M)连通连接；氦质谱检漏仪(22)，通过真空管(20)与所述密封腔(M)连通连接；所述真空管(20)上有第一真空阀(12)，所述第一真空阀(12)通过四通阀(15)与所述真空泵(18)及氦质谱检漏仪(22)连接，四通阀(15)的另两个阀口分别与真空规管(16)和标准漏孔(14)连接；还包括如下部件：保温罩(11)，包裹在所述密封腔(M)的外围；温控箱(9)，分别与所述电加热棒(8)和热电偶(7)电连接；所述氦气泄漏定量检测方法包括如下步骤：①将所述待检密封设备(5)与所述氦气充入管路(23)连接，将密封腔(M)连接好，开启所述真空泵(18)使得所述密封腔(M)中的压强在1Pa以下，然后使用所述氦质谱检漏仪(22)采集系统本底信号值为I₀；②使用所述氦质谱检漏仪(22)采集标准漏孔(14)泄漏信号值为I_s；③向待检密封设备(5)中充入氦气使压强达到设定值；开启所述加热棒(8)加热使得温度达到设定值；④在所述密封腔(M)内压强在1Pa以下，使用所述氦质谱检漏仪(22)采集待检密封设备(5)泄漏信号值为I；⑤将步骤④得到的值I与步骤②得到值I_s进行比对，即得到待检密封设备(5)泄漏率；具体计算公式为：其中，Q为待检密封设备泄漏率，Q_S为标准漏孔经过定量标定的泄漏率。