[发明专利]一种钼银层状复合材料、其制备方法及应用有效
申请号: | 201810997083.4 | 申请日: | 2018-08-29 |
公开(公告)号: | CN110872692B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 姜欣;赵大强;张学东;蒲吉斌;王立平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;H01L31/05 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王茹;王锋 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种钼银层状复合材料、其制备方法及应用。所述制备方法包括:至少将钼基材、与钼有良好固溶性的金属靶材置入真空环境,并通过直流磁控溅射方法,在所述钼基材表面沉积形成金属中间层;至少将表面形成有金属中间层的钼基材、金属银靶材置入真空环境,并通过直流磁控溅射方法,在所述金属中间层表面沉积形成银层;以及对所获的钼基材‑金属中间层‑银层复合结构进行退火处理,从而使组成金属中间层的金属元素连续地扩散入钼基材和银层中。本发明可成功制备出银/金属中间层/钼层状复合材料,环境友好、工艺稳定性高、可规模化生产;并且所获钼银层状复合材料致密度高,结合强度优异,具有优异的抗氧化腐蚀和抗热疲劳性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 层状 复合材料 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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