[发明专利]显影废液处理装置和处理方法

摘要

本发明提供一种显影废液处理装置和处理方法，其在后段作为高度精制处理而进行浓缩/冷却析晶处理，从而能够获得可作为显影液而再利用的高纯度回收液。显影废液处理装置1由前段冷却析晶单元2a和后段冷却析晶单元2b构成，所述后段冷却析晶单元2b对利用前段冷却析晶单元2a进行了回收精制的回收液进行高度精制处理。前段冷却析晶单元2a和后段冷却析晶单元2b均以进行“浓缩→冷却析晶→晶体分离→溶解”这一系列处理的方式构成。前段冷却析晶单元2a具有前段浓缩装置3a、前段冷却析晶装置4a、前段固液分离装置5a、溶解装置6a、前段滤液罐7a。后段冷却析晶单元2b具有后段浓缩装置3b、后段冷却析晶装置4b、后段固液分离装置5b、溶解罐6b、后段滤液罐7b。

主权项

1.一种显影废液处理装置，其特征在于，其具备：前段浓缩装置，将显影废液进行浓缩；前段冷却析晶装置，将从所述前段浓缩装置供给的浓缩液进行冷却析晶，生成析出有晶体的浆料；前段固液分离装置，从所述前段冷却析晶装置所供给的浆料中分离晶体；溶解装置，具有加热机构，将从所述前段固液分离装置供给的晶体进行加热溶解；后段冷却析晶装置，将从所述溶解装置供给的溶解液进行冷却析晶，生成析出有晶体的浆料；后段固液分离装置，从所述后段冷却析晶装置所供给的浆料中分离晶体；以及溶解罐，将从所述后段固液分离装置供给的晶体进行溶解。