[发明专利]一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波方法在审
| 申请号： | 201810999556.4 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN108828705A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 石东海;王庆康 | 申请（专利权）人： | 北京科易达知识产权服务有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;H01P1/20;H01P11/00 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 陈宏伟 |
| 地址： | 100000 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波方法，为一种新的滤波方法；同时，还提供了该方法制备的器件及制备方法，滤波效率不随波长变长而降低、滤波带宽不随波长变长而展宽，可以实现高效和窄带滤波。本发明滤波器采用高阻硅共振结构悬空技术，提高了滤波效率和导模共振的品质因子，降低了共振结构的损耗，降低了带宽；采用二维阵列结构，克服了器件不对称问题。 | ||
| 搜索关键词： | 导模共振 窄带滤波 共振结构 滤波效率 悬空结构 亚波长 波长 制备 二维阵列结构 发明滤波器 滤波带宽 品质因子 不对称 高阻 滤波 带宽 悬空 | ||
【主权项】：
1.一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波方法，其特征在于：是基于电磁波导模共振的太赫兹滤波原理，采用导模共振和悬空结构降低损耗技术实现高效窄带滤波。
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