[发明专利]一种多叠层式纳米压电器件在审
| 申请号： | 201810999915.6 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN109166959A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王二萍;张金平;张洋洋;孙彩霞;田凯 | 申请（专利权）人： | 黄河科技学院 |
| 主分类号： | H01L41/18 | 分类号： | H01L41/18;H01L41/083;H01L41/27 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多叠层式纳米压电器件，从下往上依次包括聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层I、氧化锌纳米线阵列I、掺杂ZnO纳米颗粒PVDF纤维薄膜层、氧化锌纳米线阵列II和聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层II；所述聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层I和聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层II的一侧分别连接有一ITO栅电极，所述ITO栅电极上设有high‑k介质层。本发明具备良好的压电性能，结构稳定，体积小。 | ||
| 搜索关键词： | 复合材料薄膜 聚偏氟乙烯 锡酸锌 氧化锌纳米线阵列 压电器件 多叠层 栅电极 基层 结构稳定 压电性能 薄膜层 介质层 体积小 掺杂 | ||
【主权项】：
1.一种多叠层式纳米压电器件，其特征在于，从下往上依次包括聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层I、氧化锌纳米线阵列I、掺杂ZnO纳米颗粒PVDF纤维薄膜层、氧化锌纳米线阵列II和聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层II；所述聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层I和聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层II的一侧分别连接有一ITO栅电极，所述ITO栅电极上设有high‑k介质层。
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