[发明专利]一种加热旋转衬底台在审
| 申请号： | 201811000306.1 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN108866503A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王燕丽;王昕涛 | 申请（专利权）人： | 东莞市典雅五金制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 东莞众业知识产权代理事务所(普通合伙) 44371 | 代理人： | 何恒韬 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种加热旋转衬底台，包括基片架和控制基片架加热、旋转及前后来回移动的控制组件，所述控制组件包括CF法兰、第一驱动组件和移动组件，所述第一驱动组件包括传动轴、齿轮组件和第一驱动电机，所述基片架与传动轴的一端固定连接，所述传动轴的另一端穿过CF法兰通过齿轮组件与第一驱动电机的输出轴固定连接，所述移动组件包括滑座和导向杆，所述导向杆装设于CF法兰上，所述导向杆与传动轴平行设置，所述滑座滑动安装于导向杆上，所述第一驱动电机固定安装于滑座上，所述基片架上设有加热器。本发明能在沉积过程中能对基片进行加热的同时旋转基片，使基片加热均匀，提高膜层的均匀性，提高镀膜质量，有利于制备各种功能膜。 | ||
| 搜索关键词： | 传动轴 导向杆 基片架 加热 驱动电机 法兰 滑座 齿轮组件 控制组件 驱动组件 移动组件 加热器 滑动安装 加热均匀 平行设置 台本发明 旋转基片 衬底台 功能膜 均匀性 输出轴 沉积 衬底 镀膜 膜层 制备 装设 穿过 移动 | ||
【主权项】：
1.一种加热旋转衬底台，其特征在于：包括基片架和控制基片架加热、旋转及前后来回移动的控制组件，所述控制组件包括CF法兰、驱动基片架旋转的第一驱动组件和用于使基片架前后来回移动的移动组件，所述第一驱动组件包括传动轴、齿轮组件和第一驱动电机，所述基片架与传动轴的一端固定连接，所述传动轴的另一端穿过CF法兰通过齿轮组件与第一驱动电机的输出轴固定连接，所述移动组件包括滑座和导向杆，所述导向杆沿水平横向装设于CF法兰上，所述导向杆与传动轴平行设置，所述滑座滑动安装于导向杆上，所述第一驱动电机固定安装于滑座上，所述基片架上设有用于对基片进行加热的加热器。
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