[发明专利]微粒检测模块有效

专利信息
申请号: 201811000845.5 申请日: 2018-08-30
公开(公告)号: CN110873679B 公开(公告)日: 2023-02-21
发明(设计)人: 莫皓然;陈世昌;廖家淯;詹士德;曾俊隆;黄启峰;韩永隆;蔡长谚;李伟铭 申请(专利权)人: 研能科技股份有限公司
主分类号: G01N15/02 分类号: G01N15/02;G01N15/06
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 聂慧荃;郑特强
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种微粒检测模块,包含:一基座;一检测部件,设置于该基座内,并包含一微粒传感器、一激光发射器及一光定位部件,光定位部件具有具有一检测通道及一光束通道,且检测通道与光束通道为正交设置,激光发射器装置于光定位部件中发射光束投射于该光束通道中,微粒传感器对应设置到检测通道与光束通道正交设置;一微型泵,承载于该基座中;其中,微型泵受驱动吸附引导基座外部的气体快速导入检测通道中,气体通过检测通道与该光束通道正交设置,受激光发射器照射而投射光点至微粒传感器,微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度。
搜索关键词: 微粒 检测 模块
【主权项】:
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