[发明专利]一种喷淋式高频超声波清洗装置

摘要

本发明涉及半导体行业或光学精密件的精密清洗设备技术领域，公开了一种喷淋式高频超声波清洗装置，包括前壳体，在其内部构造有喷嘴内锥孔，在其后端构造有外凸式锥台；后筒体，在其内部的前端构造有台肩，台肩的下端面构造成外扩式锥斜面，前壳体的后端插入到后筒体的前端的内部，以构造出环形容纳腔，在前壳体上构造有进液端口，外凸式锥台的外侧斜面与台肩的外扩式锥斜面共同构造成第一流道，其与环形容纳腔连通；压电振子设置在台肩的上端面，压电振子的下表面与前壳体的后端的侧端面之间构造有第二流道，第二流道分别与第一流道以及喷嘴内锥孔连通。该喷淋式高频超声波清洗装置具有清洗效率高、清洗精度高、空化作用小以及清洗无死角的优点。

主权项

1.一种喷淋式高频超声波清洗装置，其特征在于，包括：前壳体，在所述前壳体的内部构造有供清洗液喷出的喷嘴内锥孔，在所述前壳体的后端构造有朝外侧凸出的外凸式锥台；后筒体，在所述后筒体内部的前端构造有朝所述后筒体的中心轴线方向凸出的台肩，其中，所述台肩的下端面构造成外扩式锥斜面，所述前壳体的后端插入到所述后筒体的前端的内部，从而构造出环形容纳腔，在所述前壳体对应所述环形容纳腔的部位构造有进液端口，所述外凸式锥台的外侧斜面与所述台肩的外扩式锥斜面共同构造成供清洗液流出的第一流道，所述第一流道与所述环形容纳腔连通；以及压电振子，所述压电振子设置在所述台肩的上端面，其中，所述压电振子的下表面与所述前壳体的后端的侧端面之间构造有供清洗液流出的第二流道，所述第二流道分别与所述第一流道以及所述喷嘴内锥孔连通。