[发明专利]光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置在审
| 申请号： | 201811005917.5 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109029935A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 史国华;邢利娜;高峰;巩岩;郎松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/04 | 分类号： | G01M11/04 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置，包括：检测平台、设置在所述检测平台上的气浮转台、设置于所述气浮转台上的四维调整架、波像差测量模块、OCT测量模块及镜面偏心测量模块。本发明实现了偏心、间距与波像差三个测量模块融合于一个测试平台，实现了单套设备完成光学镜头装调检测过程中偏心、间隔、波前像差的一体化测试，单次对光轴就可以完成相关测量，避免了移动被测镜头，进而反复多次找系统光轴带来的误差；本发明实现了从传统的分步检测到在线综合检测的跨越，降低了设备成本，减少了累计误差，提高了检测效率和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 偏心 波前像差 光学镜头 检测 一体化测量装置 测量模块 在线综合检测 波像差测量 一体化测试 镜面 测试平台 单套设备 偏心测量 气浮转台 设备成本 系统光轴 波像差 传统的 调整架 光轴 气浮 四维 装调 测量 镜头 融合 移动 | ||
【主权项】：
1.一种光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置，其特征在于，包括：检测平台、设置在所述检测平台上的气浮转台、设置于所述气浮转台上的四维调整架、波像差测量模块、OCT测量模块及可上下移动设置于所述四维调整架上方的镜面偏心测量模块；其中，所述OCT测量模块中的OCT测量整合组件与所述波像差测量模块一体化整合设置于所述检测平台的下方；其中，所述波像差测量模块与OCT测量整合组件通过汇聚镜实现测量光束合束。
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