[发明专利]通过叠层提高近红外谱段效率的CCD器件及其制作方法

摘要

本发明提出通过叠层提高近红外谱段效率的CCD器件及其制作方法，属于CCD器件设计技术领域。本发明包括以下步骤：S1、将普通CCD器件进行背面减薄；S2、将两片减薄后的CCD器件背面分别粘接在透光绝缘介质材料的上、下表面，得到至少一组两片粘接的CCD器件单元；S3、将粘接的CCD器件封装在专用管壳中，即对于一组两片粘接的CCD器件单元直接封装在专用管壳中；对于多组两片粘接的CCD器件单元，将它们粘接成整体后再封装在专用管壳中；S4、在专用管壳两端接入系列引脚进行驱动。通过对常规CCD器件进行减薄并叠层，2片/多片减薄后的CCD器件叠层应用，可以增强900nm～1000nm近红外谱段的量子效率。

主权项

1.通过叠层提高近红外谱段效率的CCD器件，其特征在于：包括至少一组两片粘接的CCD器件单元；所述两片粘接的CCD器件单元包括两片刻蚀去除衬底层的普通CCD器件和透光绝缘介质材料，即从上到下依次为硅片外膜层、硅片外延层、透光绝缘介质材料、硅片外延层和硅片外膜层。