[发明专利]静电吸盘装置、掩模安装装置、成膜装置、成膜方法及电子设备的制造方法有效
| 申请号： | 201811007633.X | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109913842B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 石井博;柏仓一史 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 朱龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的静电吸盘装置包含静电吸盘板部和供电端子部，所述静电吸盘板部包含第一面和第二面，该第一面朝向用于通过来自磁力产生部的磁力使掩模附着于基板的成膜面上的磁力施加机构，该第二面与所述第一面相对，用于保持基板的成膜面的相反侧的面，所述供电端子部用于向所述静电吸盘板部供给电源，所述供电端子部设置于所述磁力施加机构的配置有所述磁力产生部的区域的外侧。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 装置 安装 方法 电子设备 制造 | ||
【主权项】：
1.一种静电吸盘装置，用于保持基板，其中，包含：静电吸盘板部，所述静电吸盘板部包含第一面和第二面，所述第一面朝向磁力施加机构，该磁力施加机构通过来自磁力产生部的磁力使掩模附着于基板的成膜面上，所述第二面与所述第一面相对，用于保持基板的成膜面的相反侧的面；以及供电端子部，所述供电端子部用于向所述静电吸盘板部供给电源，所述供电端子部设置于所述磁力施加机构的配置有所述磁力产生部的区域的外侧。
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