[发明专利]一种防潮高透明度的类金刚石涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201811008088.6 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109097735A | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳潇;欧阳晓平;左帅;罗军;张旭;吴先映;韩然 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/58;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了在核探测晶体表面的一种防潮高透明度的类金刚石(DLC)涂层的制备方法，包括以下步骤：1S：利用重金属和气体混合等离子体对基体表面进行高低能交替清洗；2S：以碳靶为阴极，利用双T异面型磁过滤沉积方法在基体上进行高致密DLC涂层的沉积；3S：利用低能气体离子源对DLC进行纳米结构刻蚀形成3‑5nm的无定形增透层。该方法基于双T异面型磁过滤沉积方法，在沉积过程中可自形成超致密、高透光率DLC，能够方便解决核探测器中如NaI、CsI晶体易潮解，同时需要高的可见光透光率的需求，能够大幅延伸易潮解核探测晶体的使用环境和范围。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 高透明度 磁过滤 核探测 防潮 潮解 面型 制备 等离子体 阴极 致密 类金刚石涂层 可见光 低能气体 高透光率 核探测器 基体表面 晶体表面 类金刚石 纳米结构 气体混合 使用环境 高致密 晶体的 离子源 透光率 无定形 增透层 重金属 刻蚀 碳靶 清洗 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种防潮高透明度的类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1S：利用重金属和气体混合等离子体对基体表面进行高低能交替清洗；2S：以碳靶为阴极，利用双T异面型磁过滤沉积方法在基体上进行高致密DLC涂层的沉积；3S：利用低能气体离子源对DLC进行纳米结构刻蚀形成3‑5nm的无定形增透层。
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