[发明专利]成膜装置、成膜方法、以及电子设备的制造方法有效
| 申请号： | 201811009947.3 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109972084B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 柏仓一史;石井博;细谷映之 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社;阿奥依株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种成膜装置、成膜方法、以及电子设备的制造方法，该成膜装置包括：静电卡盘，其用于保持基板；掩模台，其设置在所述静电卡盘的基板保持面侧，用于保持掩模；磁力施加机构，其设置在所述静电卡盘的与基板保持面相反的一侧，用于对所述掩模施加磁力；以及控制部，其控制所述静电卡盘、所述掩模台以及所述磁力施加机构，在为了使所述基板与所述掩模紧贴而使所述磁力施加机构向所述掩模台移动之前，所述控制部进行控制，以使被所述静电卡盘保持的所述基板与被所述掩模台保持的所述掩模具有规定的间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 以及 电子设备 制造 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，用于经由掩模在基板上成膜蒸镀材料，其中，包括：静电卡盘，其用于保持基板；掩模台，其设置在所述静电卡盘的基板保持面侧，用于保持掩模；磁力施加机构，其设置在所述静电卡盘的与基板保持面相反的一侧，用于对所述掩模施加磁力；以及控制部，其控制所述静电卡盘、所述掩模台以及所述磁力施加机构，在为了使所述基板与所述掩模紧贴而使所述磁力施加机构向所述掩模台移动之前，所述控制部进行控制，以使被所述静电卡盘保持的所述基板与被所述掩模台保持的所述掩模具有规定的间隔。
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