[发明专利]静电吸盘、成膜装置、基板的保持及分离方法、成膜方法有效
| 申请号： | 201811010711.1 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109957775B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 柏仓一史;石井博;细谷映之 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社;阿奥依株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘日华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的静电吸盘，包括：包括电极部的基板保持部；对所述电极部施加电压的电压施加部；对由所述电压施加部向所述电极部施加的电压进行控制的电压控制部，所述静电吸盘包括多个基板保持部，所述电压施加部对所述多个基板保持部施加用于保持基板的第一电压以及用于分离基板的第二电压，所述电压控制部对每一个所述基板保持部独立地控制所述第二电压的施加。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 装置 保持 分离 方法 | ||
【主权项】：
1.一种静电吸盘，用于保持基板，其中，包括：包括电极部的基板保持部；向所述电极部施加电压的电压施加部；对通过所述电压施加部向所述电极部施加的电压进行控制的电压控制部，所述静电吸盘包括多个基板保持部，所述电压施加部，向所述多个基板保持部施加用于保持基板的第一电压以及用于分离基板的第二电压，所述电压控制部对每个所述基板保持部独立地控制所述第二电压的施加。
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