[发明专利]在线白光干涉测厚仪在审
| 申请号： | 201811011891.5 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109238152A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 海有国;肖文科;范国军 | 申请（专利权）人： | 玻尔兹曼（广州）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 张黎 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及测厚仪领域，具体涉及在线白光干涉测厚仪。包括框架、伺服驱动系统、探头系统和电控系统，所述的伺服驱动系统横向安装在所述框架上部，所述伺服驱动系统上设有探头座，所述探头系统安装在探头座下方，所述的探头系统包括光源系统、光谱仪、光漏型集光器和冷却系统，所述光漏型集光器可在被测薄膜不平整或薄膜有振动的情况下将反射光线收集到所述光谱仪中。本发明采用光漏形式的集光器，可对因薄膜振动产生的光线偏差进行有效的收集，增强了集光的鲁棒性，将以往的白光干涉测厚仪只能在室验室离线测量厚度应用到生产现场进行在线测量。 | ||
| 搜索关键词： | 测厚仪 伺服驱动系统 白光干涉 探头系统 集光器 光谱仪 探头座 薄膜 薄膜振动 电控系统 反射光线 光源系统 横向安装 框架上部 冷却系统 离线测量 生产现场 在线测量 鲁棒性 集光 平整 应用 | ||
【主权项】：
1.在线白光干涉测厚仪，其特征在于：包括框架、伺服驱动系统、探头系统和电控系统，所述的伺服驱动系统横向安装在所述框架上部，所述伺服驱动系统上设有探头座，所述探头系统安装在探头座下方，所述的探头系统包括光源系统、光谱仪、光漏型集光器和冷却系统，所述光漏型集光器可在被测薄膜不平整或薄膜有振动的情况下将反射光线收集到所述光谱仪中。
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