[发明专利]热膨胀系数测定装置和热膨胀系数测定方法

摘要

本发明提供一种热膨胀系数测定装置和热膨胀系数测定方法。热膨胀测定装置具备温度控制装置、光波干涉仪以及控制装置，控制装置具备：实测数据获取部，其依次变更被测定物的温度，获取在各温度下由光波干涉仪测定的实测数据；数据集生成部，其生成通过将各实测数据的干涉级次设定在任意的范围内所得到的多个验证用数据，从针对各温度的验证用数据中各选出一个验证用数据来形成数据集，来生成多个数据集；以及判定部，其关于多个数据集分别导出阶数各不相同的多个近似函数，针对每个近似函数计算基于验证用数据与近似函数的差的评价指标值，关于各近似函数提取评价指标值最小的候选数据集，基于各候选数据集是否相同来判定候选数据集的有效性。

主权项

1.一种热膨胀系数测定装置，其特征在于，具备：温度检测部，其对被测定物的温度进行检测；光波干涉仪，其使用单一波长的光来测定所述被测定物的长度尺寸；实测数据获取部，其依次变更所述被测定物的温度，获取在i＝1～k的各温度Ti下由所述光波干涉仪测定的所述被测定物的长度尺寸的实测数据Li；数据集生成部，其针对各所述实测数据Li生成通过将干涉级次设定在任意的范围内所得到的多个验证用数据Di，从针对i＝1～k的各温度Ti的所述验证用数据Di中分别选出一个所述验证用数据Di来形成数据集，并生成所述验证用数据Di的选择的组合各不相同的多个所述数据集；以及判定部，其关于多个所述数据集分别导出阶数各不相同的多个近似函数，针对每个所述近似函数计算基于所述数据集的各所述验证用数据Di与所述近似函数的差的评价指标值，从多个所述数据集中提取所述评价指标值最小的候选数据集，基于针对各所述近似函数提取出的所述候选数据集是否相同来判定所述候选数据集的有效性，其中，k为大于1的正整数。