[发明专利]超净间内零过多颗粒数的统计过程控制方法

摘要

本发明公开了一种超净间内零过多颗粒数的统计过程控制方法，主要解决超净间内颗粒数零占比大于50％时现有统计过程控制技术误报警过多或不能及时报警的问题。其实施步骤是：1、利用颗粒数计数器对空气中的颗粒数进行采集，采集的数据中至少包含90个非零数据；2、获得不同颗粒数的概率；3、利用迭代法，计算阈值泊松分布中参数c和T的估计值，获得上控制限；4、按照休哈特控制图的绘制方法，将颗粒数和控制线绘制到对应的控制图中；6、通过观察控制图中是否有点超出上控制线来判断超净间内的颗粒数是否受控，确实是否继续进行生产，以实现颗粒数失控时的及时预警，提高产品质量，减少失控引起的经济损失，可用于半导体生产的质量监测。

主权项

1.一种超净间零过多颗粒数的统计过程控制方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)采集样本：利用颗粒数计数器每隔一段时间，对空气中直径大于设定值的颗粒数测量一次，得到的样本数据中需至少包含90个非零数据；(2)根据步骤(1)得到样本数据，获得颗粒数为m的样本概率pm和样本概率均值p；(3)根据不同颗粒数的样本概率和样本概率均值，利用迭代法，获得阈值泊松分布模型中真实颗粒数均值c和阈值T的参数估计值：3a)设定计数阈值T的初始值T0＝0；3b)根据T0值，获得真实颗粒数均值c的初始值c0：其中，表示自由度为2(T₀+1)的χ²分布的p₀下分位点；3c)通过下式获得T0和c0对应的颗粒数为m的理论概率值p0m：3d)根据pm和步骤3c)得到的p0m，获得迭代点T0和c0对应的判决系数R2(T0,c0)：3e)令T的下一个迭代点T1＝T0+1，根据T1值，获得相应的c的下一个迭代点c1：其中，表示自由度为2(T₁+1)的χ²分布的p₀下分位点；3f)通过下式获得T1和c1对应的颗粒数为m的理论概率值p1m：3g)根据pm和步骤3f)得到的p1m，计算迭代点T1和c1对应的判决系数R2(T1,c1)；3h)将上述得到的R2(T0,c0)与R2(T1,c1)进行比较：若R2(T0,c0)≤R2(T1,c1)，则令T0＝T1，R2(T0,c0)＝R2(T1,c1)，返回步骤3e)；若R2(T0,c0)＞R2(T1,c1)，则停止迭代，得到c和T的估计值：T＝T0,，c＝c0；(4)根据c和T的估计值，获得控制图的上控制线UCL：(5)按照休哈特控制图的绘制方法，将步骤(4)得到的上控制线和步骤(1)采集到的样本数据绘制到控制图中；(6)根据步骤(5)得到的控制图判断超净间内的颗粒数是否受控：如果数据点落在上控制线以下，则说明超净内的颗粒数是受控的，继续进行生产；如果数据点落在上控制线以上，则说明超净间内的颗粒数是失控的，则需停止生产，查找失控原因并采取相应的措施。