[发明专利]电子束成像装置有效
| 申请号： | 201811013857.1 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109273338B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 刘进元;陈家堉 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 叶剑 |
| 地址： | 518051 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种电子束成像装置，包括光电阴极、栅网、漂移管、微通道板、荧光屏、电荷耦合器件及至少两个磁透镜，其中光电阴极、栅网及微通道板顺序设置在漂移管内，荧光屏及电荷耦合器件设置于漂移管外，且光电阴极、栅网、微通道板、荧光屏和电荷耦合器件对齐设置。采用上述电子束成像装置，用户可通过滑动磁透镜来调节放大倍率，由于置使用多个磁透镜，每个磁透镜的长度较短，上述电子束成像装置只需较小的激励电流即可达到与单个长磁透镜相同的放大倍率，而且通过多个短磁透镜成像能够有效降低场曲和成像畸变率，增大电子束成像装置的空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 成像 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束成像装置，其特征在于，所述电子束成像装置包括光电阴极、栅网、漂移管、微通道板、荧光屏、电荷耦合器件及至少两个磁透镜；所述光电阴极、所述栅网及所述微通道板顺序排列在所述漂移管内，所述荧光屏及所述电荷耦合器件顺序排列在所述微通道板背向所述栅网的一侧，所述荧光屏及所述电荷耦合器件设置于所述漂移管外，且所述光电阴极、所述栅网、所述微通道板、所述荧光屏和所述电荷耦合器件对齐设置；所述至少两个磁透镜滑动套设于所述漂移管外。
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