[发明专利]一种光束调整装置、稳定光束的装置和方法在审
| 申请号： | 201811014159.3 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN110873960A | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 李平欣;李蒙;赵峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光束调整装置、稳定光束的装置和方法，包括：初始调整单元和实时调整单元，所述初始调整单元进行初始调整，所述实时调整单元进行实时调整。采用初始调整单元和实时调整单元实现光束的自动初始参数整定及自动实时光束位置和指向的补偿或校正。稳定光束的装置和方法利用到所述光束调整装置，可同时实现在初始装配过程中对光束的位置和指向的调整和运作过程中对光束的位置和指向偏差的实时校正。通过实现初始参数自动整定，避免了操作者在光束传输路径中频繁查看和调整；同一设备同时调整光束位置和指向，并使初始调整和实时调整相结合，降低了装置在光路中的安装精度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 调整 装置 稳定 方法 | ||
【主权项】：
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