[发明专利]掩膜板排版方法有效
| 申请号： | 201811014280.6 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109182964B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王恩霞;欧凌涛;李伟丽;吕孝鹏;甘帅燕;王亚 | 申请（专利权）人： | 云谷(固安)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 11258 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李国祥<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 065500河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜板排版方法，包括：提供框架，具有间隔设置的预设区域、定位区域以及与预设区域和定位区域错位设置的固定区域，相邻两个预设区域的间距为第一预定距离L1；对应于定位区域设置覆盖掩膜板，覆盖掩膜板的边缘距离定位区域的中心间距为第二预定距离L2；根据预设条件将蒸镀掩膜板设置于固定区域，相邻两个固定区域的间距为第三预定距离L3，第三预定距离L3为第一预定距离L1与第二预定距离L2差值；预设条件包括：框架具有用于连接蒸镀掩膜板的连接区域，连接区域在固定区域内，连接区域的边缘至蒸镀掩膜板的边缘间距为第一距离D1，蒸镀掩膜板的蒸镀区域的边缘与蒸镀掩膜板的边缘间距为第二距离D2；第一距离D1小于第二距离D2。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 预定距离 蒸镀 定位区域 固定区域 连接区域 预设区域 预设条件 排版 边缘距离 错位设置 间隔设置 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板排版方法，其特征在于，包括：/n提供框架，具有间隔设置的预设区域、位于相邻两个所述预设区域之间的定位区域以及与所述预设区域和所述定位区域错位设置的固定区域，相邻两个所述预设区域之间的间距为第一预定距离L1；/n对应于所述定位区域设置覆盖掩膜板，所述覆盖掩膜板的边缘距离所述定位区域的中心间距为第二预定距离L2；/n根据预设条件将蒸镀掩膜板设置于所述固定区域，相邻两个所述固定区域之间的间距为第三预定距离L3，所述第三预定距离L3等于所述第一预定距离L1与所述第二预定距离L2的差值；/n所述预设条件包括：所述框架具有用于连接所述蒸镀掩膜板的连接区域，所述连接区域在所述固定区域内，所述连接区域的边缘至所述蒸镀掩膜板的边缘间距为第一距离D1，所述蒸镀掩膜板的蒸镀区域的边缘与所述蒸镀掩膜板的边缘间距为第二距离D2；所述第一距离D1小于所述第二距离D2；/n所述预设条件还包括：所述覆盖掩膜板与所述蒸镀掩膜板具有部分交叠，所述覆盖掩膜板靠近所述蒸镀区域的边缘与所述蒸镀区域的边缘之间具有第三距离D3；所述定位区域的边缘与所述覆盖掩膜板的边缘之间具有第四距离D4，所述第三距离D3大于等于所述第四距离D4。/n
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