[发明专利]一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材在审
| 申请号： | 201811017005.X | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN108796457A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 杨延昌;王辰 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市创信金属材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 721013 陕西省宝*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及镀膜加工、制造技术领域，尤其涉及一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材。包括由钛铝合金制成的靶材本体，凹陷底面，安装孔，降温孔，所述降温孔在所述靶材本体内部联通至所述安装孔；还包括由黄铜制成的冷却底座，安装限位圈，出流孔，中空的连接螺栓，所述连接螺栓可与所述安装孔配合安装。本发明首先采用了安装孔、降温孔与安装螺栓、出流孔配合的内部液冷冷却流路，实现靶材内部的一次冷却；本发明采用靶材本体与底盘材料间相配合的接触表面非平整，扩大了两者间的接触面积，提高接触散热的效率，解决了现有技术存在凹陷靶材定位安装复杂、冷却效果不足、成型晶粒的致密性、色泽和硬度不足以及晶间组织均匀性差的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 安装孔 靶材 靶材本体 钛铝合金 降温孔 凹陷 连接螺栓 出流孔 冷却孔 组织均匀性 晶粒 安装螺栓 安装限位 凹陷底面 定位安装 镀膜加工 冷却底座 冷却效果 配合安装 一次冷却 致密性 中空的 散热 底盘 黄铜 联通 流路 成型 配合 平整 制造 | ||
【主权项】：
1.一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材，其特征在于：包括整体呈圆柱型的靶材本体(1)，所述靶材本体(1)由钛铝合金制成，所述靶材本体(1)上底面具有一个外缘凸起、中心凹陷的凹陷底面(11)，所述靶材本体(1)与所述凹陷表面(11)相对的下底面(14)中心具有一个安装孔(12)，所述靶材本体(1)的圆柱侧面具有不止一个降温孔(13)，所述降温孔(13)在所述靶材本体(1)内部联通至所述安装孔(12)；还包括一个整体呈圆盘型冷却底座(2)，所述冷却底座(2)由黄铜制成，所述冷却底座(2)上底面(22)的外圆周处具有一圈安装限位圈(21)，所述安装限位圈(21)的高度小于所述靶材本体(1)的高度，所述安装限位圈(21)的圆周上具有与所述降温孔(13)配套的出流孔(24)，所述冷却底座(2)的上底面(22)中心具有中空的连接螺栓(23)，所述连接螺栓(23)可与所述安装孔(12)配合安装。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宝鸡市创信金属材料有限公司，未经宝鸡市创信金属材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811017005.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：难熔稀有金属环形靶材的制备方法与装置
- 下一篇：一种有机-无机复合透明薄膜
- 同类专利
- 专利分类
