[发明专利]射频装置以及其制作方法有效
| 申请号： | 201811018470.5 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN110875257B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 马瑞吉;李文深;温晋炀 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/08 | 分类号： | H01L23/08;H01L21/50 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种射频装置以及其制作方法，该射频装置包括埋入式绝缘层、晶体管、接触结构、连接凸块、层间介电层以及铸模化合物层。埋入式绝缘层具有第一侧以及第二侧，且第二侧为于埋入式绝缘层的厚度方向上与第一侧相反的一侧。晶体管设置该埋入式绝缘层的第一侧上。接触结构贯穿埋入式绝缘层而与晶体管电连接。连接凸块设置于埋入式绝缘层的第二侧上且与接触结构电连接。层间介电层设置于埋入式绝缘层的第一侧上且覆盖晶体管。铸模化合物层设置于层间介电层上。铸模化合物层可用以改善射频装置的操作表现且可降低射频装置的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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