[发明专利]一种用于浸没式成像系统的浸没头在审
| 申请号： | 201811020844.7 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN108803256A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 张继真;谢晓麟;管海军;曲贺盟;徐放 | 申请（专利权）人： | 长春长光智欧科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130000 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于浸没式成像系统的浸没头，包括镜筒、镜片和浸没头基座，镜片安装在镜筒中，浸没头基座与镜筒连接并可相对镜筒沿上下方向移动，浸没头基座设置有向上延伸的侧壁，侧壁配合设置在镜筒的外侧，侧壁与镜筒的外侧密封接触并可相对滑动，在浸没头基座相对所述镜筒上下移动的过程中，侧壁至少部分与镜筒的外侧密封接触；浸没头基座与镜筒之间设置有弹性件；当浸没头基座相对镜筒向上移动时，弹性件可为浸没头基座提供向下的缓冲弹力。本发明提供的用于浸没式成像系统的浸没头，能够在有效解决碰撞问题的同时，保证密封效果。 | ||
| 搜索关键词： | 浸没 镜筒 侧壁 成像系统 浸没式 外侧密封 弹性件 上下方向移动 缓冲弹力 镜片安装 密封效果 配合设置 上下移动 相对滑动 向上延伸 向上移动 有效解决 镜片 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于浸没式成像系统的浸没头，包括镜筒、镜片和浸没头基座，所述镜片安装在所述镜筒中，其特征在于：所述浸没头基座与所述镜筒连接并可相对所述镜筒沿上下方向移动，所述浸没头基座设置有向上延伸的侧壁，所述侧壁配合设置在所述镜筒的外侧，所述侧壁与所述镜筒的外侧密封接触并可相对滑动，在所述浸没头基座相对所述镜筒上下移动的过程中，所述侧壁至少部分与所述镜筒的外侧密封接触；所述浸没头基座与所述镜筒之间设置有弹性件；当所述浸没头基座相对所述镜筒向上移动时，所述弹性件可为所述浸没头基座提供向下的缓冲弹力。
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