[发明专利]一种太阳能电池的制备工艺

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的制备工艺，通过先对硅片进行激光划线形成正面电极图形再进行扩散掺杂及后续程序，由于提前在正面栅线印刷的区域进行激光划线，在进行扩散掺杂时，激光划线区域的表面积大于非激光划线区域的面积，激光划线区域的掺杂深度大于非激光划线区域，因此激光划线区域的掺杂量大于非激光划线区域的掺杂量，非激光划线区域的掺杂量相对低一些，因此经过丝网印刷正面栅线印刷后，栅线区域实现了重掺杂，非栅线区域实现了浅掺杂，可以同时获得更高的填充因子FF和短路电流Isc。

主权项

1.一种太阳能电池的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1：对硅片进行激光划线，其中激光划线形成的图形与丝网印刷正电极图形相同，所述丝网印刷正电极图形包括正面栅线图形；S2：对激光划线后的硅片进行扩散掺杂，在正面栅线图形区域形成重掺杂，其它区域形成浅掺杂；S3：对扩散掺杂后的硅片依次进行刻蚀、镀膜；S4：进行丝网印刷，其中丝网印刷形成的正面栅线套印在激光划线形成的图形上。