[发明专利]可调节的镀膜修正板机构有效
| 申请号： | 201811032138.4 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN109457221B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 周一夫 | 申请（专利权）人： | 广州北辰工业自动化有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511300 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调节的镀膜修正板机构，包括：修正板、位置调整组件和角度调整组件；所述修正板设置有两个，分别使用铰链连接于旋转支架的两侧，两个修正板可相对旋转运动；所述位置调整组件用于调整修正板的高度位置；所述角度调整组件用于调整两个修正板的相互夹角，改变修正板的投影面积。本发明可以适用于不同尺寸及形状特征的待镀膜工件，提高修正板的通用性，降低修正板的制作费用及更换时间，还可以根据实时的镀膜厚度误差，实时、连续的调整修正板的位置，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 镀膜 修正 板机 | ||
【主权项】：
1.可调节的镀膜修正板机构，其特征在于，包括：修正板、位置调整组件和角度调整组件；所述修正板设置有两个，分别使用铰链连接于旋转支架的两侧，两个修正板可相对旋转运动；所述位置调整组件用于调整修正板的高度位置；所述角度调整组件用于调整两个修正板的相互夹角，改变修正板的投影面积。
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