[发明专利]一种微流道散热器及其制造方法有效
| 申请号： | 201811035191.X | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109411427B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 卢茜;张剑;向伟玮;王文博;李阳阳;蒋苗苗 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373;H01L23/473 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 钱成岑 |
| 地址： | 610036 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微流道散热器，其内设有微流道、分流网络，表面设有进出液口，所述微流道散热器的外表面设有金属层。本发明的微流道散热器，通过在微流道散热器表面设置金属层，不仅很好地满足了高频率系统的接地要求，还避免了在微流道散热器上设置深TSV孔，降低微流道散热器的加工难度、制造成本，保证了电路的集成密度和结构的可靠性；由于金属层的存在，本发明微通道散热器上下表面平整、无空洞，可以在微流道散热器表面集成多颗高热流密度的芯片，在保证产品散热性能的前提下可以灵活设计电路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微流道 散热器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微流道散热器，其特征在于，内设有微流道、分流网络，表面设有进液口和出液口，所述微流道散热器的外表面设有金属层。
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