[发明专利]镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法及装置在审
申请号: | 201811035311.6 | 申请日: | 2018-09-06 |
公开(公告)号: | CN109252141A | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 贾胜利;张振宇;郝志庆;杜德操 | 申请(专利权)人: | 包头市镧系新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22B5/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 014000 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明公开了一种采用镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法,包括:将高纯稀土氧化物与采用钙还原法制备高纯金属镧碎屑按一定比例混匀,装入不锈钢模具,压制成块状,放入真空还原炉坩锅中,抽真空加热蒸馏,顶部预置专用靶模收集得到稀土高纯金属胚体,对毛坯进行表面加工,得到稀土金属靶材。本发明所制得的稀土金属靶材工艺流程短,纯度高,成本低。 | ||
搜索关键词: | 制备稀土金属 稀土金属靶 高纯金属 热还原法 靶材 不锈钢模具 还原法制备 稀土氧化物 真空还原炉 表面加工 加热蒸馏 工艺流程 抽真空 毛坯 放入 高纯 混匀 胚体 碎屑 预置 坩锅 装入 稀土 制造 压制 | ||
【主权项】:
1.镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法,包括:将高纯稀土氧化物与采用钙还原法制备高纯金属镧碎屑按1:1.2‑1.5的比例混匀;将混合的原料装入不锈钢模具,用1000×105Pa ‑10000×105Pa的压制压力压制成块状,形成成型板坯;再将成型板坯放入真空还原炉坩锅中,抽真空真空度10‑3Pa,加热1000‑1500℃进行还原蒸馏,在真空还原炉顶部预置专用靶模进行收集得到成型高纯稀土金属胚体;所述专用靶模倒置在真空还原炉顶部,对成型的稀土金属毛坯进行表面加工,得到稀土金属靶材。
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