[发明专利]一种气体检测装置及其制备方法、气体检测方法有效
| 申请号： | 201811037628.3 | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109142492B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 贺芳;顾仁权;尹东升;李东升;徐胜;吴慧利;何伟;李士佩;黎午升;姚琪 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体检测装置及其制备方法、气体检测方法，属于气体检测技术领域，其可解决现有的气体检测系统体积大、速度慢、测试成本高的问题。本发明的气体检测装置是一种集成的薄膜晶体管的气体检测装置，其原理是控制部件向第一栅极提供信号，则共轭化合物构成的第一有源层与气体接触后可改变漏电流，这样检测漏电流的变化情况即可得到相应的气体的含量。该装置体积小、测试速度快、测试成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 检测 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气体检测装置，其特征在于，包括衬底，所述衬底上包括检测区，所述检测区设有至少一个第一薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管包括第一栅极、第一源极、第一漏极，以及第一有源层，所述第一有源层由共轭化合物构成，用于与待检测气体接触，且所述共轭化合物与对应的响应气体接触后能改变第一有源层的传输特性；所述气体检测装置还包括：与第一栅极连接的控制部件，用于向第一栅极提供电信号；与第一漏极连接的电流检测部件，用于检测漏极的电流。
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