[发明专利]磁传感器的低频本征噪声测试系统及测试方法在审
申请号: | 201811041109.4 | 申请日: | 2018-09-07 |
公开(公告)号: | CN109283476A | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 邱隆清;董丙元;王永良;张国峰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01R35/00 | 分类号: | G01R35/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种磁传感器的低频本征噪声测试系统及测试方法,包括:设置于补偿模块的稳场磁传感器及待测磁传感器;读取稳场磁传感器及待测磁传感器的输出信号的检测信号读出模块;将稳场磁传感器检测到的信号反馈到补偿模块中的反馈模块;产生与环境磁场波动相反的补偿磁场的补偿模块。稳场磁传感器检测环境磁场并反馈到补偿模块,补偿模块产生与环境磁场相反的补偿磁场,获得稳定磁场;待测磁传感器在稳定磁场中检测环境磁场,输出稳定磁场信号及待测磁传感器的低频本征噪声。本发明采用动态补偿方式有效的压制环境磁场波动,以达到稳定磁场的目的,进而精确地测量磁传感器的低频本征噪声。 | ||
搜索关键词: | 磁传感器 补偿模块 环境磁场 传感器 本征 测磁 稳场 稳定磁场 噪声测试系统 补偿磁场 噪声 检测 读取 测试 磁场信号 动态补偿 反馈模块 检测信号 输出稳定 输出信号 信号反馈 读出 压制 测量 反馈 | ||
【主权项】:
1.一种磁传感器的低频本征噪声测试系统,其特征在于,所述磁传感器的低频本征噪声测试系统至少包括:稳场磁传感器、待测磁传感器、检测信号读出模块,反馈模块及补偿模块;所述稳场磁传感器及所述待测磁传感器设置于所述补偿模块中;所述检测信号读出模块连接于所述稳场磁传感器及所述待测磁传感器的输出端,用于读取所述稳场磁传感器及所述待测磁传感器的输出信号;所述反馈模块的输入端连接于所述检测信号读出模块的输出端、输出端连接所述补偿模块,用于将所述稳场磁传感器检测到的信号反馈到所述补偿模块中;所述补偿模块基于所述反馈模块的输出信号产生与环境磁场波动相反的补偿磁场。
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