[发明专利]液体喷出头、液体喷出装置、压电设备以及超声波传感器有效
| 申请号： | 201811041580.3 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109484029B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 西胁学;加藤洋;浅川勉 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/01;G01D5/48;H01L41/08 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;权太白 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供液体喷出头、液体喷出装置、压电设备以及超声波传感器。即使在于高温下对压电元件进行烧成的情况下，也能够抑制振动板与压电元件的剥离。振动板(36)包括氮氧化硅层361。氮氧化硅层(361)为以含有氮氧化硅的方式而形成的层。氧的含量越多则氮氧化硅层(361)的线膨胀系数越减小，而氮的含量越多则氮氧化硅层(361)的线膨胀系数越增大。氮氧化硅层(361)的线膨胀系数大于氧化硅的线膨胀系数＝0.5×10 |
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| 搜索关键词： | 液体 喷出 装置 压电 设备 以及 超声波传感器 | ||
【主权项】：
1.一种液体喷出头，具备：压力室，其收纳液体；振动板，其形成所述压力室的壁面；压电元件，其隔着所述振动板而被设置于与所述压力室相反的一侧处，并且使所述振动板进行振动，所述振动板包括以含有氮氧化硅的方式而形成的氮氧化硅层。
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