[发明专利]一种柔性窄边框触控感应器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811041714.1 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN108803946A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 周群飞;贺柯 | 申请（专利权）人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 410100 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性窄边框触控感应器的制备方法，包括以下步骤：A)在柔性透明基板上依次镀ITO薄膜、铜层和铜镍合金层；B)在所述铜镍合金层上涂布一层光阻层，经曝光和显影后，采用第一蚀刻液对显影后的基板进行蚀刻；C)去除所述步骤B)中的光阻层；D)对所述步骤C)中去除光阻层的基板进行老化；E)在所述老化后的基板表面涂布一层光阻层，经曝光和显影后，采用第二蚀刻液对对老化后的基板进行蚀刻；F)去除所述步骤E)中的光阻层，得到柔性窄边框触控感应器。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻层 触控感应器 窄边框 基板 显影 去除 蚀刻 铜镍合金层 老化 蚀刻液 制备 基板表面涂布 透明基板 曝光 铜层 | ||
【主权项】：
1.一种柔性窄边框触控感应器的制备方法，包括以下步骤：A)在柔性透明基板上依次镀ITO薄膜、铜层和铜镍合金层；B)在所述铜镍合金层上涂布一层光阻层，经曝光和显影后，采用第一蚀刻液对显影后的基板进行蚀刻；所述第一蚀刻液包括以下质量分数的组分：2～10％的HCl，1～8％的硝酸和0.1～2％的氯化铜；C)去除所述步骤B)中的光阻层；D)对所述步骤C)中去除光阻层的基板进行老化；E)在所述老化后的基板表面涂布一层光阻层，经曝光和显影后，采用第二蚀刻液对老化后的基板进行蚀刻；所述第二蚀刻液包括以下质量分数的组分：0.1％～5％的氧化剂，0.1％～2％的含氮化合物和0.1％～2％的Cu化合物；F)去除所述步骤E)中的光阻层，得到柔性窄边框触控感应器。
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