[发明专利]激光抛光装置及抛光方法在审
| 申请号： | 201811043552.5 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN108838548A | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 许乔;王度;李亚国;袁志刚;金会良;耿锋;刘志超;欧阳升;刘朋朋;王健;张清华 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/067;B23K26/402;C03B25/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴开磊 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种激光抛光装置及抛光方法，涉及抛光技术领域。其中，所述装置通过分束器将激光器发出的初始光束分为第一光束、第二光束和第三光束，然后通过扫描器接收所述第一光束、第二光束和第三光束，并将所述第一光束、第二光束和第三光束投射到待加工元件，在待加工元件上形成第一光束对应的预热光斑、第二光束对应的抛光光斑以及第三光束对应的退火光斑，实现了在抛光处理的同时对待加工元件进行预热和退火，避免了在对玻璃等脆性材料进行抛光的过程中由于温度梯度较大产生热应力导致加工元件产生裂纹。 | ||
| 搜索关键词： | 加工元件 抛光 光斑 退火 激光抛光 预热 抛光技术领域 脆性材料 光束投射 抛光处理 温度梯度 激光器 分束器 热应力 扫描器 玻璃 申请 | ||
【主权项】：
1.一种激光抛光装置，其特征在于，所述装置包括激光器、分束器及扫描器；所述激光器发出的初始光束经过所述分束器分束得到功率不同的第一光束、第二光束和第三光束；所述扫描器接收所述第一光束、第二光束和第三光束，并将所述第一光束、第二光束和第三光束投射到待加工元件，在待加工元件上形成第一光束对应的预热光斑、第二光束对应的抛光光斑以及第三光束对应的退火光斑对待加工元件进行抛光处理；其中，所述抛光光斑位于所述预热光斑与退火光斑之间，且所述抛光光斑对应的第二光束的功率大于所述第一光束和第三光束的功率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心，未经中国工程物理研究院激光聚变研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811043552.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可偏转的激光除锈装置
- 下一篇：牙刷激光标识自动打标方法
