[发明专利]微球涂层系统有效
| 申请号： | 201811047875.1 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN108977789B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 罗炳池;李文琦;罗江山;李恺;陈龙;张吉强;何玉丹;金雷;李波;吴卫东 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴开磊 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微球涂层系统，其包括有公转盘以及自转盘，自转盘安装在公转盘上，自转盘的转动轴线与公转盘的中轴线偏心设置，自转盘用于安装石英盘。该反弹盘装置在使用过程中转动的线路多样化，进而使得微球在涂层过程中转动更加合理，提高微球涂层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 系统 | ||
【主权项】：
1.一种反弹盘装置，其特征在于，其包括有：公转盘，自转盘，所述自转盘安装在所述公转盘上，所述自转盘的转动轴线与所述公转盘的中轴线偏心设置，所述自转盘用于安装石英盘。
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