[发明专利]抛光垫在审
| 申请号： | 201811050090.X | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110883683A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提出一种抛光垫，具有抛光表面，抛光表面上设有多个研磨槽。多个研磨槽包括多个主研磨槽和多个子研磨槽，多个主研磨槽呈网格状分布并界定出呈阵列分布的多个矩形区域，每个矩形区域中分别设有至少一个子研磨槽。据此，本公开提出的抛光垫能够具备较佳的抛光效果，且不会产生毛刺。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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