[发明专利]光学位置检测装置和方法在审
| 申请号： | 201811053107.7 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN108931188A | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 胡进 | 申请（专利权）人： | 苏州亿拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光学位置检测装置和方法，该装置包括：光源；第一反射镜，可将来自光源的入射光束以一定倾角入射在工件的待测表面；横向偏移放大镜组，可将待测表面的反射光束进行横向偏移放大后入射至探测器；探测器。本发明的检测装置和方法，采用独立的光路，且采用斜入射方式，可以避开其它光路占据的空间位置，而且装置简单可靠，成本低廉。而且精度高，可以将工件表面的位置变化放大50～100倍，可以实现亚微米级的位置检测。 | ||
| 搜索关键词： | 光学位置检测装置 横向偏移 探测器 光路 入射 光源 放大 反射光束 放大镜组 工件表面 检测装置 空间位置 入射光束 位置变化 位置检测 亚微米级 反射镜 斜入射 避开 占据 申请 | ||
【主权项】：
1.一种光学位置检测装置，其特征在于，包括：光源；第一反射镜，可将来自光源的入射光束以一定倾角入射在工件的待测表面；横向偏移放大镜组，可将待测表面的反射光束进行横向偏移放大后入射至探测器；探测器。
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