[发明专利]微机电系统麦克风有效
| 申请号： | 201811055004.4 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110022519B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 陈建铭;郭乃豪;林文山;李新立 | 申请（专利权）人： | 美商富迪科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种微机电系统(MEMS)麦克风，包括一基板、一背板、一振膜、一第一绝缘突起以及多个第二绝缘突起。背板设置在基板的一侧。振膜设置在基板与背板之间并可相对于背板移动。第一绝缘突起和第二绝缘突起形成在背板面向振膜的一侧上。其中，第一绝缘突起永久性地连接并固定到振膜，且在振膜与每一第二绝缘突起之间形成有一气隙。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统麦克风，其特征在于，包括：基板；背板，设置在该基板的一侧；振膜，设置在该基板与该背板之间并可相对于该背板移动；以及第一绝缘突起和多个第二绝缘突起，形成在该背板面向该振膜的第一侧上，其中该第一绝缘突起永久性地连接并固定到该振膜，且在该振膜与每一该第二绝缘突起之间形成有一气隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美商富迪科技股份有限公司，未经美商富迪科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811055004.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于电声换能器的低涡流磁损耗电枢装置
- 下一篇：助听器系统
