[发明专利]一种通孔电沉积制备锡纳米线的方法有效

专利信息
申请号: 201811056386.2 申请日: 2018-09-11
公开(公告)号: CN108977856B 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 刘志权;孟智超;吴迪 申请(专利权)人: 中国科学院金属研究所
主分类号: C25D1/00 分类号: C25D1/00;C25D1/20;C25D3/32;B82Y40/00
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 于晓波
地址: 110016 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明公开了一种直流电沉积制备锡纳米线的方法,属于电子材料领域。该方法首先以纳米多孔聚碳酸酯膜或阳极氧化铝膜(AAO)为模板,通过磁控溅射的方法在模板底部溅射银种子层,并在通孔底端以铜为底板,然后采用直流电镀方式从种子层底端向通孔内填充锡纳米线。本发明提出的直流电沉积填充方法可以获得组织性能稳定、高导电导热性、可塑性高等特点的锡纳米线。锡作为传统焊料的主要成分,其纳米形态的材料同样具有低成本、低熔点、良好的焊接能力和机械性能,以及与金属基体优异的润湿性,适用于自组装纳米结构之间的有效连接和互连,实现具有热功能和电功能的有效纳米级互连。
搜索关键词: 一种 通孔电 沉积 制备 纳米 方法
【主权项】:
1.一种直流电沉积制备锡纳米线的方法,其特征在于:该方法是采用直流电沉积法,在多孔模板的纳米级孔洞中制备出锡纳米线;制备过程中通过控制电流大小和/或沉积时间来控制纳米线的长度。
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