[发明专利]一种长焦大离轴量离轴抛物面的制造方法有效
申请号: | 201811056441.8 | 申请日: | 2018-09-11 |
公开(公告)号: | CN109163663B | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 胡建军;潘君骅;钱煜;王伟 | 申请(专利权)人: | 苏州如期光电科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/26;G01B11/27;G01B11/255;G01B11/00 |
代理公司: | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人: | 王利斌 |
地址: | 215131 江苏省苏州市相城区经济开发区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于光学加工技术领域,具体涉及一种离轴抛物面的制造方法;为解决长焦大离轴量离轴抛物面检测精度不高导致的加工精度差的技术问题,提出一种长焦大离轴量离轴抛物面的制造方法;采用偏轴两镜系统将发散镜头虚焦点和偏轴两镜系统的像点重合,有效的缩短了光路长度;再配合标准球面反射镜、标准平面反射镜进一步缩短光路长度且压缩了光路宽度;此外该技术方案使得CCD的像元得到有效利用,增大了被检测工件的检测分辨率,可以有效遏制空气扰动对检验结果的不利影响,提高干涉检验精度,为加工符合技术要求的离轴镜提供保障。 | ||
搜索关键词: | 一种 长焦大离轴量离轴 抛物面 制造 方法 | ||
【主权项】:
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