[发明专利]一种应用于RTP的蚀刻工具及工艺在审
| 申请号： | 201811060020.2 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109358437A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 黄华达 | 申请（专利权）人： | 东莞通华液晶有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 东莞市冠诚知识产权代理有限公司 44272 | 代理人： | 莫杰华 |
| 地址： | 523000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于RTP的蚀刻工具及工艺，该丝印网用于在ITO层表面印刷蚀刻膏，其丝印网由金属丝纵横交织而成，形成的网孔密度为320‑400个/英寸，线径为18‑30μm，孔径为39‑55μm。该蚀刻工艺采用蚀刻膏蚀刻的方式，简化了蚀刻工艺步骤，提高了工艺效率，并且使用的人工和设备更少，适合RTP生产线的工艺生产。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 蚀刻膏 丝印网 蚀刻工艺步骤 表面印刷 工艺生产 工艺效率 蚀刻工艺 纵横交织 金属丝 网孔 线径 应用 | ||
【主权项】：
1.一种应用于RTP的蚀刻工具，其特征在于：用于在ITO层表面印刷蚀刻膏，丝印网由金属丝纵横交织而成，形成的网孔密度为320‑400个/英寸，线径为18‑30μm，孔径为39‑55μm。
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