[发明专利]一种基于等离聚焦的近场扫描探针有效
| 申请号： | 201811060049.0 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109374928B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 顾忠泽;赵祥伟;孙良栋;陈洪渊 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01Q60/22 | 分类号： | G01Q60/22 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于等离聚焦的近场扫描探针，包括光纤和波导结构，所述的光纤中央设有贯穿其长度方向的通光孔，光纤端面设有波导结构，所述的波导结构包括支架和聚焦结构，所述的支架位于光纤和聚焦结构之间，所述的聚焦结构采用锥体结构，并覆盖光纤端面的通光孔，聚焦结构由部分球体基座和锥体组成，球体基座的一端与光纤端面连接，另一端与锥体的侧面相切，锥体的另一侧面与光纤的端面倾斜连接，其尖端超出光纤的侧面。本发明采用光刻方式加工尖端聚焦结构，加工方式灵活，精度高，时长极短，成本低，方便大批量生产制备，可以通过调节加工过程中的光胶聚合的激光功率及扫描速率，控制尖端结构的弹性系数及模量，从而适用于多类型样本检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 聚焦 近场 扫描 探针 | ||
【主权项】：
1.一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，包括光纤(1)和波导结构，所述的光纤(1)中央设有贯穿其长度方向的通光孔(2)，光纤(1)端面设有波导结构，所述的波导结构包括支架(3)和聚焦结构(4)，所述的支架(3)位于光纤(1)和聚焦结构(4)之间，所述的聚焦结构(4)采用锥体结构，并覆盖光纤(1)端面的通光孔(2)。
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