[发明专利]高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法

摘要

本发明提供一种高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法,属精密器件加工技术领域。第一种方式是通过光刻技术得到芯模模具各光刻胶叠片，装配并利用不可逆键合技术键合各叠片后得到电铸芯模模具。再向模具内灌注PDMS，固化后去除芯模模具得到整体式电铸芯模。第二种方式是利用光刻技术得到芯模各光刻胶叠片，装配并利用不可逆技术键合各叠片后得到叠片组装式电铸芯模。将制备的芯模表面导电化处理后便可进行精密电铸。电铸完成后脱模即得到高频波纹馈源喇叭工件。本发明得到的叠片精度可控制到亚微米级，通过该技术可实现对具有亚微米级微细内腔齿槽结构高频波纹馈源喇叭的高精度制造，保证喇叭形/性精准制造。

主权项

1.一种高频波纹馈源喇叭电铸芯模的精密制造方法，其特征在于包括以下过程：步骤1：对芯模模具切片，并基于光刻技术在负性干膜光刻胶上得到芯模模具各光刻胶叠片；所有叠片均为圆环形；不同圆环形叠片的内径对应喇叭内腔相应齿或槽结构的内径，圆环形叠片的厚度对应喇叭内腔相应齿宽或槽宽;各圆环形叠片的内径逐级递增，各圆环形叠片外径一致，大于喇叭内腔齿/槽的最大处内径; 圆环形叠片上设置有等径的定位孔；步骤2：利用定位孔逐层装配各光刻胶叠片，并利用不可逆键合技术键合各叠片，得到芯模模具；步骤3：芯模模具内灌注液态PDMS，固化后溶解芯模模具得到电铸芯模;步骤4: 对电铸芯模表面进行导电化处理后进行精密电铸;步骤5：电铸完成后脱模得到成型的馈源喇叭。