[发明专利]生产调度方法及装置、半导体处理设备、存储介质有效
| 申请号： | 201811063050.9 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110895733B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 纪红;史小平;兰云峰;雷花;赵雷超;秦海丰;张文强 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/06 | 分类号： | G06Q10/06;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生产调度方法及装置、半导体处理设备、存储介质。包括：S110、接收用户输入的若干个工艺任务：S120、计算当前工艺任务的调度序列；S130、执行当前工艺任务的调度序列；S140、判断当前工艺任务中是否还有硅片未开始执行调度序列，若是，返回执行S130，若否，执行S150；S150、基于当前工艺任务的调度序列，计算下一个工艺任务的调度序列；S160、继续执行当前工艺任务的调度序列，并同时执行下一个工艺任务的调度序列。在执行任务的过程中，可以简化调度运算，保证平台调度执行顺畅。能够有效提高工艺腔室的利用率，提高工艺产能。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 调度 方法 装置 半导体 处理 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
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