[发明专利]蚀刻时间侦测方法及蚀刻时间侦测系统在审
| 申请号： | 201811063659.6 | 申请日： | 2018-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110530825A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 萧郁伦 | 申请（专利权）人： | 亚智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 11228 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程殿军<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 一种蚀刻时间侦测方法，包括以下步骤：依据配方数据执行蚀刻制程；于蚀刻时间中的判断时间内接收由数组光感测元件所传输的透光率数值；依据配方数据，分别撷取由各组光感测元件所传输的数个透光率数值，以产生相应的数个计算数值；于判断时间内处理计算数值，以产生相应各组光感测元件的数值分布数据；以及比对数值分布数据，以决定一过蚀刻时间。此外，一种蚀刻时间侦测系统亦被提出。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 光感测元件 分布数据 配方数据 透光率 蚀刻制程 侦测系统 传输 过蚀刻 比对 数组 侦测 撷取 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻时间侦测方法，其特征在于，包括以下步骤：/n依据一配方数据执行一蚀刻制程，其中该配方数据包括一蚀刻时间；/n于该蚀刻时间中的一判断时间内接收由数组光感测元件所传输的数个透光率数值；/n依据该配方数据，分别撷取由各组该光感测元件所传输的该些透光率数值，以产生相应的数个计算数值；/n于该判断时间内处理该些计算数值，以产生相应各组该光感测元件的数值分布数据；以及/n比对该些数值分布数据，以决定一过蚀刻时间。/n
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