[发明专利]微机械转速传感器组件和相应的制造方法

摘要

本发明实现一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够通过所述驱动装置经由所述驱动框架装置围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴相对彼此垂直地布置；和能够通过驱动装置经由驱动框架装置沿着第二轴(y)线性振荡地被驱动的第二转速传感器装置，用于感测围绕第一轴(z)的第三外部转速。第一转速传感器装置通过驱动框架装置与第二转速传感器装置连接。驱动框架装置具有第一驱动框架和第二驱动框架，这些驱动框架能够通过驱动装置沿着第三轴(x)反相振荡地被驱动。

主权项

1.微机械转速传感器组件，所述微机械转速传感器组件具有：能够通过驱动装置(AT1、AT2；AT2；AT1’、AT2’)经由驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b；RA1a’、RA1b’、RA2a、RA2b；RA1’、RA2’)围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一轴(z)、所述第二轴(y)和所述第三轴(x)相对彼此垂直地布置；和能够通过所述驱动装置(AT1、AT2；AT2；AT1’、AT2’)经由所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b；RA1a’、RA1b’、RA2a、RA2b；RA1’、RA2’；RA1’、RA2’)沿着所述第三轴(x)线性振荡地被驱动的第二转速传感器装置(200)，用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速；其中，所述第一转速传感器装置(100)通过所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b；RA1a’、RA1b’、RA2a、RA2b；RA1’、RA2’)与所述第二转速传感器装置(200)连接；其中，所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b；RA1a’、RA1b’、RA2a、RA2b；RA1’、RA2’；RA1’、RA2’)具有第一驱动框架(RA1a、RA1b；RA1’)和第二驱动框架(RA2a、RA2b；RA2’)，这些驱动框架能够通过所述驱动装置(AT1、AT2；AT2；AT1’、AT2’)沿着所述第三轴(x)反相振荡地被驱动。