[发明专利]正型光阻组成物及图案化聚酰亚胺层的形成方法有效
| 申请号： | 201811067508.8 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN110895382B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 张庭玮;鍾明哲 | 申请（专利权）人： | 新应材股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种正型光阻组成物及图案化聚酰亚胺层的形成方法，正型光阻组成物包括甲酚型酚醛树脂、重氮萘醌类感光剂以及有机溶剂；以100重量份的该甲酚型酚醛树脂为基准，该重氮萘醌类感光剂的用量为40重量份至60重量份，该甲酚型酚醛树脂中游离甲酚的含量低于2重量百分比，且该甲酚型酚醛树脂以3.5重量百分比至7重量百分比的四甲基氢氧化铵水溶液溶解的碱性溶解速率低于285埃/秒。本发明的正型光阻组成物对聚酰亚胺剥除剂具有优异的耐化学性，能具体提升光阻层对低介电性的聚酰亚胺层的保护能力，从而优化图案化聚酰亚胺层的工艺与品质。 | ||
| 搜索关键词： | 正型光阻 组成 图案 聚酰亚胺 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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